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硅片缺陷检测
检测硅片漏浆,精度0.04mm/Pixel,视野130mmx90mm。
硅片破损检测
检测硅片破损,精度0.07mm/Pixel,视野150mmx150mm。
硅片极片检测
检测硅片电极点定位,精度0.01mm/Pixel,视野70mmx70mm。